Quel est le principal objectif de la substitution (purge) de l'intérieur du FOUP par de l'azote ?

Réponse : A. Limiter l'oxydation de la surface des plaquettes et le dépôt d'humidité et de contaminants moléculaires

Si le FOUP contient de l'air, la surface des plaquettes s'oxyde et se charge d'humidité et de contaminants moléculaires pendant les attentes entre étapes. La purge à l'azote réduit l'oxygène et l'humidité et préserve l'état de surface. Elle empêche notamment que les gaz dégagés par les plaquettes après gravure ne s'accumulent dans le FOUP et ne contaminent les autres plaquettes ; elle devient importante dans les procédés très miniaturisés. Le but n'est ni d'alourdir ni de refroidir.