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Salles blanches et équipements

Quelle définition du FOUP est correcte ?

  1. ALa source lumineuse d'un équipement d'exposition
  2. BUn équipement de polissage des plaquettes
  3. CUn conteneur qui transporte et stocke des plaquettes de 300 mm dans un environnement fermé
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Réponse : C. Un conteneur qui transporte et stocke des plaquettes de 300 mm dans un environnement fermé

Le FOUP (Front Opening Unified Pod) est un conteneur à ouverture frontale qui transporte et stocke en milieu fermé jusqu'à 25 plaquettes de 300 mm ; chargé, il pèse environ 8 kg. Les plaquettes n'étant maintenues propres qu'à l'intérieur du FOUP et des équipements, la contamination est évitée sans rendre toute l'usine ultra-propre. Ses dimensions et son mode d'ouverture étant normalisés, il se place directement sur les équipements de tout fabricant et est transporté automatiquement, par exemple par convoyeur aérien.

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