CMP et nettoyage
Quel est le principal objectif du nettoyage de la face arrière et de la périphérie (biseau) des plaquettes ?
- AAlléger la plaquette
- BEmpêcher que la contamination et les particules de la face arrière et de la périphérie ne passent aux équipements, aux autres plaquettes ou à la face avant
- CFaire briller la plaquette
Afficher la réponse et l'explication
Réponse : B. Empêcher que la contamination et les particules de la face arrière et de la périphérie ne passent aux équipements, aux autres plaquettes ou à la face avant
La contamination de la face arrière et de la périphérie se propage aux autres plaquettes par les plateaux des équipements, les robots de transfert et les FOUP, ou se détache et se dépose sur la face avant. Les particules en face arrière peuvent aussi provoquer des défauts de focalisation locaux (points chauds) sur le plateau de l'équipement d'exposition. Les films déposés sur le biseau se détachant facilement, on les retire par gravure ou on les nettoie pour empêcher la propagation de la contamination.