Principe consistant à maintenir une haute propreté uniquement dans l'espace restreint entourant les plaquettes. En combinant des conteneurs étanches comme le FOUP et l'EFEM en façade des équipements, on réduit les exigences de propreté de la salle et donc les coûts.
Nom japonais: ミニエンバイロメント
« Mini-environnement » apparaît dans 3 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Salles blanches et équipements.
Domaine: Salles blanches et équipements
Réponse : B. SMIF
Le SMIF (Standard Mechanical Interface) transporte la cassette de plaquettes dans une nacelle fermée ; sur l'équipement, le fond de la nacelle s'ouvre vers le bas pour introduire la cassette dans l'équipement. Conçu dans les années 1980, il a diffusé le concept de mini-environnement. Pour le 300 mm, il a évolué vers le FOUP, qui intègre cassette et nacelle et s'ouvre par l'avant. L'EFEM est le module avant d'équipement qui reçoit les FOUP.
Conçu dans les années 1980, il a diffusé le concept de mini-environnement.
Quelle approche de mini-environnement, répandue à l'époque …L'approche par mini-environnement ne maintient une propreté extrême que dans les espaces en contact avec les plaquettes, comme le FOUP ou l'intérieur des équipements, et assouplit un peu la propreté des espaces où travaillent les personnes.
Comment appelle-t-on l'approche qui ne maintient une haute …Les plaquettes passent ainsi entre FOUP et équipement sans exposition à l'air ambiant ; c'est la pièce maîtresse du mini-environnement.
Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouv…FOUP EFEM Contact FFU (unité de filtration ventilée) OHT (transport aérien automatisé) Filtre ULPA Contamination moléculaire aéroportée (AMC) Filtre HEPA Flux descendant (downflow) ISO 14644-1