Qu'est-ce que RIE (gravure ionique réactive) ?
Gravure sèche combinant des espèces réactives du plasma et des ions accélérés par un champ électrique. Elle permet une gravure anisotrope verticale.
Nom japonais: RIE(反応性イオンエッチング)
« RIE (gravure ionique réactive) » apparaît dans 94 questions d'entraînement réparties sur 25 thèmes, dont Jonction PN et diodes, Circuits analogiques et électroniques, Interfaces d'E/S et bus.
Domaine: Gravure