Filtre à air haute performance qui capte des particules encore plus fines que le filtre HEPA. Installé au plafond des salles blanches de haute propreté.
Nom japonais: ULPAフィルタ
« Filtre ULPA » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Environnement, santé et sécurité.
Domaine: Salles blanches et équipements
Réponse : B. Ioniseur (éliminateur d'électricité statique)
Dans une salle blanche sèche, l'électricité statique apparaît facilement ; les plaquettes et masques chargés attirent les particules ou subissent des décharges électrostatiques qui endommagent les composants ou les motifs des masques. L'ioniseur produit des ions positifs et négatifs, par exemple par décharge corona, et les diffuse dans l'air pour neutraliser la charge des objets. Il est particulièrement efficace pour les isolants, qui ne peuvent être mis à la terre. Le filtre ULPA élimine les particules, le laveur de gaz traite les gaz d'échappement.
Réponse : C. EFEM (module avant d'équipement comprenant ports de chargement et robot de transfert)
L'EFEM (Equipment Front End Module) regroupe, dans un espace maintenu propre par des FFU, les ports de chargement où l'on pose les FOUP, le mécanisme d'ouverture des couvercles et le robot qui sort les plaquettes et les achemine dans l'équipement. Les plaquettes passent ainsi entre FOUP et équipement sans exposition à l'air ambiant ; c'est la pièce maîtresse du mini-environnement. L'OHT assure le transport entre équipements, le filtre ULPA la purification de l'air.
Le filtre ULPA élimine les particules, le laveur de gaz traite les gaz d'échappement.
Dans une salle blanche, quel équipement fournit des ions à …L'OHT assure le transport entre équipements, le filtre ULPA la purification de l'air.
Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouv…Le filtre ULPA, plus performant, est spécifié à au moins 99,9995 % à 0,15 µm.
Quelle définition courante des performances d'un filtre HEP…Le filtre ULPA élimine les particules, et l'OHT est un équipement de transport.
Quel dispositif absorbe et élimine les gaz acides, entre au…OHT (transport aérien automatisé) FOUP EFEM FFU (unité de filtration ventilée) Mini-environnement Filtre HEPA Contact Contamination moléculaire aéroportée (AMC) Flux descendant (downflow) ISO 14644-1