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Salles blanches et équipements

Dans une usine de plaquettes de 300 mm, quel système transporte automatiquement les FOUP entre équipements le long de rails au plafond ?

  1. ATransport manuel par chariot
  2. BTransport uniquement par convoyeurs à bande
  3. COHT (véhicule de transport aérien automatisé)
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Réponse : C. OHT (véhicule de transport aérien automatisé)

Un FOUP contenant 25 plaquettes de 300 mm pèse environ 8 kg ; le transport manuel est pénible et comporte des risques d'émission de particules et de chute. L'OHT est un véhicule circulant sur des rails au plafond qui transporte automatiquement le FOUP suspendu jusqu'au port de chargement des équipements, libérant l'espace au sol pour le travail et les équipements. C'est l'élément central du système de manutention automatisé (AMHS) de l'usine, et les grandes usines en comptent plusieurs centaines ou plus.

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