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Salles blanches et équipements

Quelle approche de mini-environnement, répandue à l'époque des plaquettes de 200 mm, place une cassette dans une nacelle fermée pour la transférer aux équipements ?

  1. AFOUP
  2. BSMIF
  3. CEFEM
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Réponse : B. SMIF

Le SMIF (Standard Mechanical Interface) transporte la cassette de plaquettes dans une nacelle fermée ; sur l'équipement, le fond de la nacelle s'ouvre vers le bas pour introduire la cassette dans l'équipement. Conçu dans les années 1980, il a diffusé le concept de mini-environnement. Pour le 300 mm, il a évolué vers le FOUP, qui intègre cassette et nacelle et s'ouvre par l'avant. L'EFEM est le module avant d'équipement qui reçoit les FOUP.

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