Système qui circule sur des rails au plafond et transporte automatiquement les FOUP entre les équipements. Pilier du transport automatisé des usines de plaquettes de 300 mm.
Nom japonais: OHT(天井走行式無人搬送車)
« OHT (transport aérien automatisé) » apparaît dans 8 questions d'entraînement réparties sur 3 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Plaquettes de silicium, Environnement, santé et sécurité.
Domaine: Salles blanches et équipements
Réponse : C. Environ 128 g
Le volume vaut π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³ ; multiplié par la masse volumique de 2.33 g/cm³, on obtient environ 128 g. Un wafer de 200 mm (725 µm d'épaisseur) pèse environ 53 g. Un conteneur (FOUP) de 25 wafers de 300 mm pèse au total environ 8 kg ; en usine, il est donc transporté automatiquement par des systèmes de transport aériens (OHT). Le poids et la fragilité sont l'une des raisons de l'abandon de la manutention manuelle avec l'augmentation du diamètre.
Réponse : C. OHT (véhicule de transport aérien automatisé)
Un FOUP contenant 25 plaquettes de 300 mm pèse environ 8 kg ; le transport manuel est pénible et comporte des risques d'émission de particules et de chute. L'OHT est un véhicule circulant sur des rails au plafond qui transporte automatiquement le FOUP suspendu jusqu'au port de chargement des équipements, libérant l'espace au sol pour le travail et les équipements. C'est l'élément central du système de manutention automatisé (AMHS) de l'usine, et les grandes usines en comptent plusieurs centaines ou plus.
Un conteneur (FOUP) de 25 wafers de 300 mm pèse au total environ 8 kg ; en usine, il est donc transporté automatiquement par des systèmes de transport aériens (OHT).
Quelle valeur est la plus proche de la masse d'un wafer de …L'OHT est un véhicule circulant sur des rails au plafond qui transporte automatiquement le FOUP suspendu jusqu'au port de chargement des équipements, libérant l'espace au sol pour le travail et les équipements.
Dans une usine de plaquettes de 300 mm, quel système transp…L'OHT assure le transport entre équipements, le filtre ULPA la purification de l'air.
Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouv…L'EFEM est le module avant d'équipement, l'OHT le véhicule de transport au plafond.
Quel équipement, disposé en nombre au plafond, intègre un f…Rempli d'air propre ou d'azote et relié au système de transport comme l'OHT, il délivre les FOUP requis sur instruction du système de gestion de production.
Dans le système de transport automatisé d'une usine de semi…FOUP EFEM FFU (unité de filtration ventilée) Filtre ULPA Mini-environnement Filtre HEPA Débit (throughput) Contact Contamination moléculaire aéroportée (AMC) Flux descendant (downflow)