Quel type de salle blanche dispose les équipements de fabrication dans une grande salle peu cloisonnée et assure la propreté des plaquettes par des conteneurs fermés comme les FOUP et des mini-environnements ?

Réponse : C. Ballroom (grande salle)

L'approche ballroom dispose les équipements dans un grand espace sans cloisonnement fin. Les plaquettes étant protégées par les conteneurs fermés et les mini-environnements des équipements, la propreté de toute la salle n'a pas besoin d'être aussi élevée, et les équipements se réagencent facilement. Les rails d'OHT pouvant aussi être tracés librement, elle est largement adoptée dans les usines 300 mm. L'approche baie-coursive sépare par des cloisons les zones de travail et de maintenance.