什麼是緩衝氫氟酸(BHF)

以氟化銨緩衝的氫氟酸藥液。用於SiO2的濕式蝕刻，蝕刻速率穩定，對光阻的損傷也小。

日文名稱: バッファードフッ酸(BHF)

「緩衝氫氟酸(BHF)」出現在1領域的1道練習題中（蝕刻等）。

這個名詞所屬的領域: 蝕刻

練習緩衝氫氟酸(BHF)的題目

用於SiO2濕式蝕刻、以氟化銨緩衝氫氟酸的溶液是下列何者？

  1. ASPM
  2. B熱磷酸
  3. C緩衝氫氟酸（BHF）
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正確答案：C. 緩衝氫氟酸（BHF）

緩衝氫氟酸是在氫氟酸中加入氟化銨以穩定pH值的溶液，溶解氧化層的主要成分（HF2⁻）的濃度不易因溶液消耗而改變，蝕刻速率穩定，光阻也不易剝落。對熱氧化層的速度約為每分鐘數十至100 nm左右。一向用於氧化層的圖案化、自然氧化層的去除、膜質的評估等。

解析中的「緩衝氫氟酸(BHF)」

出現「緩衝氫氟酸(BHF)」的題目（1題）

  1. 用於SiO2濕式蝕刻、以氟化銨緩衝氫氟酸的溶液是下列何者？

相關名詞

光阻 熱氧化 天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測

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