什麼是TMAH(氫氧化四甲基銨)
氫氧化四甲基銨。不含金屬離子的有機鹼，用於光阻的顯影液。需注意經由皮膚吸收造成的中毒。
日文名稱: TMAH
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 前驅物 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮)
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