在濕式蝕刻中，提高藥液溫度時，蝕刻速率的一般變化為何？

正確答案：B. 變快

濕式蝕刻是藉由化學反應進行，因此一般而言溫度上升，反應變快，蝕刻速率也提高。作為參考，溫度每升高10 ℃，速率常會變為1.5～2倍左右，為了穩定加工量，需要將藥液溫度精密管理在±0.5 ℃左右。也有像以熱磷酸（約160 ℃）蝕刻氮化層這樣，刻意在高溫下使用的藥液。

• A. 蝕刻速率強烈依賴溫度。
• B. 正確。化學反應變快，蝕刻速率提高。
• C. 一般而言提高溫度會使反應變快。