縱向與橫向以相同速度進行的蝕刻。會蝕入遮罩下方（底切）。
日文名稱: 等方性エッチング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 腔體調適(Seasoning)
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