ウェットエッチング란?

うぇっとえっちんぐ

薬液に浸して膜を溶かして削る方法。選択比が高く損傷も少ないが、一般に等方的に進むため微細な加工には向かない。

일본어 명칭: ウェットエッチング

분야: 식각