蝕刻

關於以氫氧化鉀(KOH)水溶液對矽進行濕式蝕刻的特徵,下列何者正確?

  1. A蝕刻速率因晶面而有很大差異,(111)面非常慢,因此會形成具有斜面的V字形溝槽等
  2. B在所有晶面上以相同速度進行的等向性蝕刻
  3. C高速溶解氧化層
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正確答案:A. 蝕刻速率因晶面而有很大差異,(111)面非常慢,因此會形成具有斜面的V字形溝槽等

KOH等鹼性溶液對矽(111)面的蝕刻速度僅約為(100)面的百分之一,因此在(100)晶圓上會出現(111)面,形成具有約54.7°斜面的V字形溝槽或金字塔形的孔。利用這種由晶體方位造成的非等向性,可以製作MEMS壓力感測器的薄膜、噴墨的噴嘴,以及太陽能電池表面用來侷限光線的凹凸(紋理)等。

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