ゲート絶縁膜の材料と面積を変えずに膜厚だけを薄くすると、単位面積あたりのゲート容量はどうなるか。

正解：A. 大きくなる

ゲート容量は平行平板コンデンサとみなせ、C = ε / t (ε:誘電率、t:膜厚)で表されます。膜厚を薄くすると容量は大きくなり、ゲートがチャネルを制御する力が強まります。ただし薄くしすぎるとトンネル電流によるゲートリークが増えるため、誘電率の高いHigh-k材料が使われるようになりました。