短チャネル効果の強さを見積もるのに使われる「スケール長(ナチュラル長)λ」の説明として正しいものはどれか。

正解：B. ドレインの電位の影響がチャネル内に及ぶ距離の目安で、ゲート長がλより十分長ければ短チャネル効果は小さい

スケール長λは、チャネル内でドレイン電位の影響が減衰する距離の目安で、絶縁膜の厚さ、チャネルの厚さ、誘電率、ゲートの構造などで決まります。ゲート長がλの数倍以上あれば短チャネル効果は小さく抑えられます。ゲートで囲む面が多い構造ほどλが小さくなり、より短いゲート長まで微細化できます。

• A. 配線の長さを表すものではありません。
• B. 正しい。ドレインの影響が及ぶ距離の目安です。
• C. フィンの高さとは別の量です。