先端トランジスタ(FinFET・GAA)

MOSFETの短チャネル効果として当てはまるものはどれか。

  1. Aゲート長を短くするとゲート容量が無限大になる
  2. Bゲート長を短くするとチャネルの移動度が必ず2倍になる
  3. Cゲート長を短くするとしきい値電圧が低下し、オフ時のリーク電流が増える
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正解:C. ゲート長を短くするとしきい値電圧が低下し、オフ時のリーク電流が増える

ゲート長が短くなると、ドレインの電界の影響がチャネルに及びやすくなり、ゲートだけでチャネルを制御しにくくなります。その結果、しきい値電圧の低下(ロールオフ)、ドレイン電圧によるしきい値の低下(DIBL)、オフ時のリーク電流の増加などが起こります。

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