酸化・拡散

PN接合の「接合深さ」の定義として一般的に正しいものはどれか。

  1. A表面から不純物濃度が最大になる位置までの深さ
  2. B拡散した不純物の濃度が、基板のもともとの不純物濃度と等しくなる深さ
  3. Cウエハの厚さの半分の深さ
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正解：B. 拡散した不純物の濃度が、基板のもともとの不純物濃度と等しくなる深さ

表面から導入した不純物の濃度は深くなるほど下がり、ある深さで基板にもとからある反対の導電型の不純物濃度と等しくなります。この深さが導電型の入れ替わる境目で、接合深さと呼ばれます。微細なトランジスタでは浅い接合が求められます。

  • A. 濃度の最大位置は接合深さではありません。
  • B. 正しい。導入した不純物と基板の濃度が等しくなる深さです。
  • C. ウエハの厚さとは関係ありません。
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