DRAM
最近のDRAMのセルトランジスタで、ゲート電極をシリコン基板の溝の中に埋め込む構造(埋め込みワード線)を使う主な目的はどれか。
- Aセルを発光させるため
- B実効的なチャネル長を長くしてリーク電流を抑えながら、セルを小さくするため
- Cキャパシタを不要にするため
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正解:B. 実効的なチャネル長を長くしてリーク電流を抑えながら、セルを小さくするため
DRAMのセルトランジスタには、キャパシタの電荷を逃がさないよう極めて小さいリーク電流が求められます。ゲートを溝に埋め込むと、平面上の寸法が小さくても、溝に沿って実効的なチャネル長を長くでき、短チャネル効果によるリークを抑えられます。