FinFETで短チャネル効果を十分に抑えるために、フィンの幅について一般に求められることはどれか。

正解：C. ゲート長より細くする

フィンが細いほど、両側のゲートの電界がフィンの中心までよく届き、チャネル全体をゲートで制御しやすくなります。目安として、フィンの幅はゲート長の半分〜同程度以下にする必要があり、先端の世代では数nmまで細くなっています。

• A. フィンの幅は短チャネル効果の抑制に大きく影響します。
• B. フィンが太すぎると中心部をゲートで制御できず、リークが増えます。
• C. 正しい。フィンを細くしてゲートの制御を強めます。