等方性エッチングとは
とうほうせいえっちんぐ
縦にも横にも同じ速さで削れるエッチング。マスクの下に回り込んで削れる(アンダーカット)。
この用語の分野: エッチング
とうほうせいえっちんぐ
縦にも横にも同じ速さで削れるエッチング。マスクの下に回り込んで削れる(アンダーカット)。
この用語の分野: エッチング
すべての方向に同じ速さで進むのは等方性エッチングです。
異方性エッチングの説明として正しいものはどれか。異方性エッチング RIE(反応性イオンエッチング) ICP(誘導結合プラズマ) アスペクト比 アッシング アンテナ効果 ウェットエッチング ARDE(アスペクト比依存エッチング) ALE(原子層エッチング) オーバーエッチング