ARDE(アスペクト比依存エッチング)とは
えーあーるでぃーいー
パターンが細く深いほど、イオンやラジカルが底に届きにくくなり、エッチング速度が低下する現象。マイクロローディング効果とも呼ばれる。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「ARDE(アスペクト比依存エッチング)」
この現象がARDE(マイクロローディング効果)で、同じウエハでも細い穴は浅く、太い穴は深くなり、寸法によって深さがそろわない原因になります。
パターンが細く深くなるほどエッチング速度が低下する現象を何と呼ぶか。
「ARDE(アスペクト比依存エッチング)」が出てくる問題(1問)
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