等方性エッチング란?
とうほうせいえっちんぐ
縦にも横にも同じ速さで削れるエッチング。マスクの下に回り込んで削れる(アンダーカット)。
일본어 명칭: 等方性エッチング
분야: 식각
とうほうせいえっちんぐ
縦にも横にも同じ速さで削れるエッチング。マスクの下に回り込んで削れる(アンダーカット)。
일본어 명칭: 等方性エッチング
분야: 식각
選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果