等方性エッチング란?

とうほうせいえっちんぐ

縦にも横にも同じ速さで削れるエッチング。マスクの下に回り込んで削れる(アンダーカット)。

일본어 명칭: 等方性エッチング

분야: 식각

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관련 용어

選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果

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