RIE(反応性イオンエッチング)とは
あーるあいいー
プラズマ中の反応性の粒子と、電界で加速したイオンを組み合わせて削るドライエッチング。垂直な異方性の加工ができる。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「RIE(反応性イオンエッチング)」
RIEは、反応性ガス(フッ素系、塩素系など)のプラズマでつくったラジカルによる化学反応と、電界で加速したイオンの衝撃を組み合わせたドライエッチングです。
反応性イオンエッチング(RIE)の説明として正しいものはどれか。この相乗効果(イオンアシスト)により、イオンが当たる底面だけが速く削れ、反応性イオンエッチングで速く異方的な加工ができます。
シリコンにXeF2のガスとアルゴンイオンのビームを同時に当てると、それぞれ単独の場合の和よりはるかに速くエッチングが進…
「RIE(反応性イオンエッチング)」が出てくる問題(2問)
関連する用語
ドライエッチング プラズマ ラジカル ICP(誘導結合プラズマ) アスペクト比 アッシング アンテナ効果 異方性エッチング ウェットエッチング ARDE(アスペクト比依存エッチング)