ALE(原子層エッチング)とは
えーえるいー
表面の改質と除去の反応を交互に繰り返し、1サイクルごとに原子層レベルの量だけ削る技術。エッチング量を極めて精密に制御できる。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「ALE(原子層エッチング)」
ALEは、まず表面の1層だけを塩素の吸着などで反応させて改質し、次に低エネルギーのイオンなどでその層だけを取り除く、という自己制限的な工程を繰り返します。
原子層エッチング(ALE)の特徴として正しいものはどれか。
「ALE(原子層エッチング)」が出てくる問題(1問)
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