オーバーエッチングとは
おーばーえっちんぐ
終点を検出したあと、ウエハ全面で膜を確実に除去するため、さらに一定時間エッチングを続けること。下地との選択比が高い条件で行う。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「オーバーエッチング」
そこで、例えば主エッチングの時間の20〜50%程度のオーバーエッチングを行い、確実に除去します。
エッチングの終点を検出したあと、ウエハ全面で膜を確実に除去するために、さらに一定時間エッチングを続けることを何と呼ぶか。
「オーバーエッチング」が出てくる問題(1問)
関連する用語
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