異方性エッチングの説明として正しいものはどれか。

正解：A. 主に垂直方向にエッチングが進み、横方向にはほとんど進まない

異方性エッチングでは、イオンの衝突などにより垂直方向のエッチングが優先的に進み、マスクの下に回り込む横方向のエッチングがほとんど起きません。そのため、マスクのパターンを正確に転写でき、微細で垂直な形状を加工できます。