ダウンフローとは

だうんふろー

天井全面から床へ一方向に清浄な空気を流す、クリーンルームの気流の方式。発生した粒子をすばやく床下へ排出する。

この用語の分野: クリーンルーム・製造装置

解説の中の「ダウンフロー」

「ダウンフロー」が出てくる問題(6問)

  1. プラズマで生成したラジカルだけをウエハに供給するダウンフロー型エッチングの特徴として正しいものはどれか。
  2. クリーンルームで、天井から床へ一方向に空気を流す(ダウンフロー)方式の主な目的はどれか。
  3. ダウンフロー方式のクリーンルームで、床に穴のあいたパネル(グレーチング)を使う理由として正しいものはどれか。
  4. ダウンフロー方式のクリーンルームで一般的な、天井からの吹き出し風速の目安はどれか。
  5. 高い清浄度のダウンフロー方式のクリーンルームで、1時間に部屋の空気が入れ替わる回数(換気回数)の目安として最も近いものはどれか。
  6. 半導体工場のクリーンルームの床に使われる、格子状に穴のあいた厚いコンクリートの床(ワッフルスラブ)の役割として正しいものはどれか。

関連する用語

プラズマ ラジカル ナノシート SiGe(シリコンゲルマニウム) ISO 14644-1 EFEM ULPAフィルタ FFU(ファンフィルタユニット) OHT(天井走行式無人搬送車) FOUP

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