ドーズ量とは

どーずりょう

イオン注入で、単位面積あたりに打ち込むイオンの数。cm⁻²の単位で表し、ビーム電流と注入時間で決まる。

この用語の分野: イオン注入

解説の中の「ドーズ量」

「ドーズ量」が出てくる問題(10問)

  1. イオン注入のドーズ量を表す単位として正しいものはどれか。
  2. ソース・ドレインの形成のように、大きなドーズ量を短い時間で注入するために使われるイオン注入装置はどれか。
  3. 同じアニール条件で、イオン注入のドーズ量を増やすと注入層のシート抵抗は一般にどうなるか。
  4. LSIの製造で使われるイオン注入のドーズ量の範囲として最も近いものはどれか。
  5. MOSFETのしきい値電圧の調整やウェルのような、中程度のドーズ量の注入に主に使われるイオン注入装置はどれか。
  6. イオン注入で、不純物が打ち込まれる深さ(飛程)を主に決めるパラメータはどれか。
  7. イオン注入装置で、注入したイオンの量(ドーズ)を求めるために、ビーム電流を測定する部品はどれか。
  8. ドーズ量1×10¹⁵ cm⁻²の不純物が、深さ100 nmの範囲に均一に分布しているとすると、平均の濃度はおよそいくらか。
  9. イオン注入の原理として正しいものはどれか。
  10. イオン注入装置のビームの通り道を高い真空にする主な理由はどれか。

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