イオン注入の原理として正しいものはどれか。

正解：A. 不純物をイオンにして電界で加速し、ウエハに打ち込む

イオン注入では、ボロンやリンなどの不純物をイオン化し、電界で加速して高速でウエハに打ち込みます。加速のエネルギーで深さを、打ち込むイオンの数(ドーズ量)で濃度を精密に制御できます。

• A. 正しい。イオンを加速して打ち込みます。
• B. 液体に浸す方法はイオン注入ではありません。
• C. ガス中で加熱して染み込ませるのは熱拡散です。