イオン注入装置のビームの通り道を高い真空にする主な理由はどれか。

正解：C. イオンがガスの分子と衝突して散乱したり中性化したりするのを防ぐため

ビームの通り道にガスが残っていると、イオンがガスの分子と衝突して向きが変わったり、電荷を失って中性になったりします。すると狙った場所やエネルギー、ドーズ量で注入できなくなるため、ビームラインは高真空に保たれます。

• A. 装置の重さとは関係ありません。
• B. 真空にするのはウエハを冷やすためではありません。
• C. 正しい。イオンの散乱や中性化を防ぐためです。