ドーズ量란?
どーずりょう
イオン注入で、単位面積あたりに打ち込むイオンの数。cm⁻²の単位で表し、ビーム電流と注入時間で決まる。
일본어 명칭: ドーズ量
분야: 이온 주입
관련 용어
固溶度 過渡増速拡散(TED) 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ
どーずりょう
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