ソース・ドレインの形成のように、大きなドーズ量を短い時間で注入するために使われるイオン注入装置はどれか。

正解：B. 高電流(ハイカレント)注入装置

イオン注入装置は、扱うビーム電流とエネルギーによって、高電流型、中電流型、高エネルギー型に分けられます。ソース・ドレインのような10¹⁵ ions/cm²前後の高ドーズの注入には、大きなビーム電流を出せる高電流型が使われます。