イオン注入 同じアニール条件で、イオン注入のドーズ量を増やすと注入層のシート抵抗は一般にどうなるか。 A下がる B上がる C変化しない 答えと解説を見る 正解：A. 下がる ドーズ量が多いほど注入層の不純物の総量が増え、キャリアも増えるため、シート抵抗は下がります。ただし、不純物の固溶度を超えると活性化しきれない不純物が増えるため、ドーズ量を増やしてもシート抵抗が下がりにくくなります。