イオン注入

イオン注入のドーズ量を表す単位として正しいものはどれか。

  1. AeV
  2. Bions/cm²(単位面積あたりのイオン数)
  3. CΩ/□
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正解：B. ions/cm²(単位面積あたりのイオン数)

ドーズ量は、ウエハの単位面積あたりに注入したイオンの数で、ions/cm²(またはatoms/cm²)で表します。eVはイオンの加速エネルギーの単位、Ω/□はシート抵抗の単位です。

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