MOSFETのしきい値電圧の調整やウェルのような、中程度のドーズ量の注入に主に使われるイオン注入装置はどれか。

正解：B. 中電流イオン注入装置

イオン注入装置は、ドーズ量とエネルギーの範囲によって、中電流(しきい値調整やハロー注入など)、大電流(ソース・ドレインなどの高ドーズ)、高エネルギー(深いウェルなど)に大きく分けられます。中電流装置はドーズの精度や注入角度の制御に優れています。

• A. CMP装置は研磨で平坦化する装置です。
• B. 正しい。中程度のドーズの注入に使われます。
• C. 電子ビーム描画装置はパターンを描く装置です。