イオン注入
ドーズ量1×10¹⁵ cm⁻²の不純物が、深さ100 nmの範囲に均一に分布しているとすると、平均の濃度はおよそいくらか。
- A1×10¹⁸ cm⁻³
- B1×10²² cm⁻³
- C1×10²⁰ cm⁻³
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正解：C. 1×10²⁰ cm⁻³
濃度は「ドーズ量 ÷ 深さ」で求められます。100 nm = 1×10⁻⁵ cm なので、1×10¹⁵ ÷ 1×10⁻⁵ = 1×10²⁰ cm⁻³ です。ソース・ドレインのような高濃度の領域は、この程度の濃度になります。
イオン注入
正解：C. 1×10²⁰ cm⁻³
濃度は「ドーズ量 ÷ 深さ」で求められます。100 nm = 1×10⁻⁵ cm なので、1×10¹⁵ ÷ 1×10⁻⁵ = 1×10²⁰ cm⁻³ です。ソース・ドレインのような高濃度の領域は、この程度の濃度になります。