固溶度とは
こようど
ある温度で、結晶の中に溶け込める不純物の最大の濃度。電気的に活性化できるドーパントの濃度の上限を決める。
この用語の分野: イオン注入
解説の中の「固溶度」
また固溶度が高く高濃度にできるため、浅く急峻で低抵抗な接合が求められるnMOSのソース・ドレインやエクステンションに使われてきました。
シリコン中の熱処理での拡散が比較的遅く、浅い接合をつくりやすいn型不純物はどれか。アルミニウムは固溶度も低く深い位置まで拡散が速いため、パワーデバイスの深い接合に使われることがあります。
SiO2膜が、ボロンやリンの拡散のマスクには使えるが、ガリウムやアルミニウムに対してはマスクとして働きにくい理由として…ただし不純物の固溶度を超えると活性化しきれない不純物が増え、移動度も下がるため、ドーズ量を増やしてもシート抵抗は下がりにくくなります。
同じアニール条件で、イオン注入のドーズ量を増やすと注入層のシート抵抗は一般にどうなるか。
「固溶度」が出てくる問題(6問)
- シリコン中の熱処理での拡散が比較的遅く、浅い接合をつくりやすいn型不純物はどれか。
- SiO2膜が、ボロンやリンの拡散のマスクには使えるが、ガリウムやアルミニウムに対してはマスクとして働きにくい理由として正しいものはどれか。
- 同じアニール条件で、イオン注入のドーズ量を増やすと注入層のシート抵抗は一般にどうなるか。
- アニールでドーパントを活性化させるとき、電気的に活性化できる濃度の上限を決める性質はどれか。
- ドーズ量1×10¹⁵ cm⁻²の不純物が、深さ100 nmの範囲に均一に分布しているとすると、平均の濃度はおよそいくらか。
- nMOSのチャネルに急峻なレトログレード分布をつくるために、ボロンより重いp型不純物として検討・使用されてきた元素はどれか。
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