イオン注入 イオン注入装置で、注入したイオンの量(ドーズ)を求めるために、ビーム電流を測定する部品はどれか。 Aファラデーカップ Bマイクロレンズ Cペリクル 答えと解説を見る 正解：A. ファラデーカップ ファラデーカップは、イオンビームを受け止めて、その電荷を電流として測定する部品です。イオン1個あたりの電荷はわかっているので、電流を時間で積分すれば注入したイオンの数、つまりドーズ量を求められます。