1価のイオンを、面積100 cm²のウエハにドーズ量1×10¹⁵ ions/cm²で注入する。ビーム電流が1 mAのとき、必要な注入時間はおよそいくらか。(電気素量 1.6×10⁻¹⁹ C)

正解：C. 約16秒

注入するイオンの総数は 1×10¹⁵ × 100 = 1×10¹⁷ 個で、その電荷は 1×10¹⁷ × 1.6×10⁻¹⁹ = 1.6×10⁻² C です。電流1 mA = 1×10⁻³ C/s で割ると、16秒となります。実際には、ウエハ外に当たるビームなども考慮します。