イオン注入

イオン注入で、不純物が打ち込まれる深さ(飛程)を主に決めるパラメータはどれか。

  1. A加速エネルギー
  2. Bドーズ量
  3. C注入後の洗浄時間
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正解：A. 加速エネルギー

注入の深さは主にイオンの加速エネルギーで決まり、エネルギーが高いほど深く入ります。ドーズ量は単位面積あたりに注入するイオンの数で、不純物濃度を決めます。イオンの種類(質量)も深さに影響し、同じエネルギーなら軽いイオンほど深く入ります。

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