ファラデーカップとは
ふぁらでーかっぷ
イオンビームを受けて流れる電流を測定する部品。イオン注入装置で、注入したイオンの量(ドーズ)を求めるのに使う。
この用語の分野: イオン注入
解説の中の「ファラデーカップ」
走査の速度を位置ごとに補正し、ファラデーカップでビームの分布を測ってフィードバックすることで、ウエハ面内のドーズのばらつきを0.5%程度以下に抑えます。
イオン注入で、ウエハ面内のドーズを均一にするための方法として正しいものはどれか。ファラデーカップは、イオンビームを受け止めて、その電荷を電流として測定するカップ状の電極です。
イオン注入装置で、注入したイオンの量(ドーズ)を求めるために、ビーム電流を測定する部品はどれか。中性になった粒子はファラデーカップで数えられず、走査や減速の電界でも制御できないため、狙った場所・エネルギー・ドーズ量で注入できなくなります。
イオン注入装置のビームの通り道を高い真空にする主な理由はどれか。
「ファラデーカップ」が出てくる問題(4問)
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