ハードマスクとは
はーどますく
深い穴の加工などで、フォトレジストだけではマスクとして持たない場合に使う、窒化膜や炭素膜、金属などの硬いマスク。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「ハードマスク」
シリコン窒化膜は酸素や水分、ナトリウムなどのイオンを通しにくく、硬く、酸化膜とエッチングの選択比をとりやすいため、選択酸化(LOCOS)のマスク、STI形成でのCMPストッパー、チップ表面を守るパッシベーション膜、エッチングのストッパーやハードマスク、ゲートのサイドウォール、自己整合コンタクトの保護などに使われます。
シリコン窒化膜(Si3N4)の用途として正しいものはどれか。TiNはバリア層、ハードマスク、メタルゲートの仕事関数調整などに使われます。
チタンのターゲットを窒素を含むガス中でスパッタし、窒化チタン(TiN)膜を形成する方法を何と呼ぶか。こうした無機膜などのマスクがハードマスクです。
深い穴の加工などで、フォトレジストだけではマスクとして持たない場合に使われる、窒化膜や炭素膜などのマスクを何と呼ぶか。
「ハードマスク」が出てくる問題(5問)
関連する用語
選択比 LOCOS STI(シャロートレンチ分離) CMP パッシベーション膜 コンタクト 反応性スパッタリング 仕事関数 フォトレジスト 3D NAND