深い穴の加工などで、フォトレジストだけではマスクとして持たない場合に使われる、窒化膜や炭素膜などのマスクを何と呼ぶか。

正解：C. ハードマスク

深い加工ではレジストが途中でなくなってしまうため、まずレジストのパターンを窒化膜、酸化膜、アモルファスカーボン膜などに転写し、それをマスクとして本来の膜をエッチングします。こうした無機膜などのマスクをハードマスクといいます。