反応性スパッタリングとは
はんのうせいすぱったりんぐ
金属のターゲットを、窒素や酸素などの反応性ガスを含む雰囲気でスパッタし、窒化物や酸化物の膜をつくる方法。窒化チタン(TiN)などの成膜に使われる。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「反応性スパッタリング」
反応性スパッタリングは、アルゴンに窒素や酸素などの反応性ガスを加えてスパッタし、金属とガスを反応させて窒化物や酸化物の膜をつくる方法です。
チタンのターゲットを窒素を含むガス中でスパッタし、窒化チタン(TiN)膜を形成する方法を何と呼ぶか。
「反応性スパッタリング」が出てくる問題(1問)
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