エッチング

酸化膜のエッチング速度が100 nm/min、マスクの削れる速度が20 nm/minのとき、マスクに対する選択比はいくらか。

  1. A0.2
  2. B5
  3. C80
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正解：B. 5

選択比は「エッチングしたい膜のエッチング速度 ÷ マスク(または下地)のエッチング速度」で求めます。100 ÷ 20 = 5 です。例えば酸化膜を500 nmエッチングすると、マスクは100 nm削られることになります。

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