在深孔加工等僅靠光阻無法支撐作為遮罩時所使用，由氮化膜、碳膜、金屬等構成的堅硬遮罩。
日文名稱: ハードマスク
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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