反射防止膜(BARC)とは

解説の中の「反射防止膜(BARC)」

• BARCは有機または無機の吸収膜で下地からの反射を1%以下に抑え、寸法の精度を高めます。

  レジストの下に塗る反射防止膜(BARC)の主な目的はどれか。

• 裏面照射型、反射防止膜、マイクロレンズは量子効率を高める技術で、科学用の冷却CCDなどでは90%を超えるものもあります。

  イメージセンサの量子効率の定義として正しいものはどれか。

• ウエハ面内のばらつきを数nm以内にでき、フォトレジストの塗布、反射防止膜、塗布型の絶縁膜(SOG)、ポリイミドの保護膜などに使われます。

  液状の材料をウエハの中心に滴下し、高速で回転させて均一な膜をつくる方法を何と呼ぶか。

「反射防止膜(BARC)」が出てくる問題(6問)

1. レジストの下に塗る反射防止膜(BARC)の主な目的はどれか。
2. イメージセンサの量子効率の定義として正しいものはどれか。
3. 液状の材料をウエハの中心に滴下し、高速で回転させて均一な膜をつくる方法を何と呼ぶか。
4. リソグラフィの一般的な工程順として正しいものはどれか。
5. レジストを塗る前に、ウエハ表面をHMDSなどで処理する主な目的はどれか。
6. 微細なパターンを深く加工するため、下から有機膜(炭素膜)、シリコンを含む中間膜、レジストの3層を重ねて使うマスクの方式を何と呼ぶか。

関連する用語

量子効率 裏面照射型(BSI) マイクロレンズ スピンコート フォトレジスト 化学増幅型レジスト プラズマ 選択比 EUV露光 位相シフトマスク